改善工件表面性能的方不除了化學熱處理以外，還有高頻表面淬火、火焰表面淬火、噴丸、滾壓、冷壓冷軋等冷作硬化處理；表面氧化、磷化處理；各種電鍍、粉末熔射、電火花噴射等。與這些表面處理方法相比較，化學熱處理具有以下特點。
（1）根據(jù)需要滲入不同的元素，有效地改變工件表面的化學成分和組織，獲得各種不同的性能，以滿足各種不同工件條件對工件的要求。
（2）一般化學熱處理的滲層深度和滲層的成分可根據(jù)工件的技術(shù)要求來調(diào)節(jié)，而且滲層的成分、組織和性能由表至里是逐漸變化的，滲層與基體結(jié)合牢固，表層不易剝落。
（3）通常化學熱處理不受工件幾何形狀的局限，無論形狀如何復(fù)雜的工件均可使外殼和內(nèi)腔獲得所要求的滲層或局部滲層，不像表面淬火、液壓、冷壓冷軋等冷作硬化處理那樣，要受到工件形狀的限制。
（4）絕大部分化學熱處理具有工件變形小、精度高、尺寸穩(wěn)定性好等特點。如氮化、軟氮化、離子氮化等工藝，均使工件具有較高的精度、較低的表面粗糙度和良好的尺寸穩(wěn)定性。
（5）所有化學熱處理均可獲得改善表面性能的綜合效果，大中分化學熱處理在提高表面力學性能的同時，還能提高表面層的抗腐蝕、抗氧化、減摩、抗咬合、耐熱等多種性能。
（6）一般化學熱處理對提高機械產(chǎn)品的質(zhì)量、挖掘材料潛力、延長使用壽命具有更為顯著的成效，可以大大節(jié)約貴重的金屬材料，降低成本，經(jīng)濟效益高。
（7）多數(shù)化學熱處理既是一個復(fù)雜的物理化學過程，也是一個復(fù)雜的冶金過程，它需要在一定的活性介質(zhì)中是行加熱，通過界面上的物理化學反應(yīng)和由表及里的冶金擴散來完成。因而它的工藝較復(fù)雜，處理周期相對較長，而且對使用設(shè)備有較高的要求。
