電火花加工后的表面粗糙度，正規情況下常用電動輪廓儀來測量。如果要求不高、不嚴格的情況下也可用電火花加工表面粗糙度樣板與電火花加工之后的表面進行目測對比，大致可以評定出Ra值為0.4μm、0.8μm、1.6μm、3.2μm、6.3μm、12.6μm六個等級，非常實用方便。
自制電火花加工表面粗糙度樣板的方法如下。
（1）工件材料 最好選擇不銹鋼，以免日后生銹。用高碳鋼或模具鋼也可，但需先淬火后再加工。
（2）工具電極 材料用紫銅塊，一般可選15mm×20mm左右的加工面積。其加工表面的粗糙度值應在金相砂紙上研磨至Ra為0.4μm以下。電極用過之后，再加工時仍應研磨光、平，尤其是表面粗糙度Ra（0.4μm）值較小的樣板較難加工，電極更應研磨得又平、又光。
（3）工具電極和工件的找正 應使工具電極下表面和工件的上表面找的盡可能平整，否則要加工較長時間才能全面積進入火花放電狀態。
（4）電火花加工規準的選擇和操作要點
1）使用D7140電火花成形加工機床（BK-50晶體管脈沖電源），加平動頭。
2）先開始加工Ra值為0.4μm的樣板，以后再加工Ra值為0.8μm的樣板，最后加工Ra值為12.6μm的樣板。
3）加工規準見下表。
4）沖液抬刀等參數可根據具體要求而定。表面粗糙度值愈小，愈小易加工達到，應加抬刀、平動或搖動功能，所有的加工都應有側向沖液，保證排屑與排氣狀態良好。表面粗糙度值較大時，可不用平動加工功能，依靠放電爆炸排屑能力強，加工容易穩定。
5）加工宛一批樣板后，即可拿到計量室測量其表面粗糙度值，合格后用線切割切成所需要的尺寸，按不同表面粗糙度值等級，用萬能膠或環氧樹脂膠依次排列粘接在一塊底板上，在樣板旁邊注上相應的表面粗糙度值，就成為一副實用的比較樣板。
