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 電火花線切割加工的加工精度大致可分為四個方面，即加工面的尺寸精度、間距尺寸精度、定位精度和角部形狀精度。線切割加工的精度是相當高的，一般可以控制在0.015~0.02mm之間，如果是新換上的鉬絲，一般可以控制在0.01mm以下。

   影響電火花線切割加工精度的因素很多，主要有脈沖電源、電極絲、工作液、工件、進給方式、機床和環境等。